企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 辽宁 沈阳 |
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公司地址: | 沈阳市沈河区凌云街35号 |
发布时间:2020-02-24 05:52:22
脉冲激光沉积的应用领域
沈阳鹏程真空技术有限责任公司***生产、销售脉冲激光沉积,以下信息由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供。
脉冲激光沉积技术适合做的薄膜包括各种多元氧化物,氮化物,硫化物薄膜,金属薄膜,磁性材料等。
应用领域:
单晶薄膜外延(SrTiO3,LaAlO3)
压电薄膜(PZT,AlN,pld300型激光镀膜设备批发,BiFeO3,BaTiO3)
铁电薄膜(BaTiO3,KH2PO4)
热电薄膜(SrTiO3)
金属和化合物薄膜电极(Ti,Ag,PLD300A型激光镀膜设备批发,Au,Pt,Ni,Co,SrRuO3,PLD450型激光镀膜设备批发,LaNiO3,YZrO2,GdCeO2,LaSrCoFeO3)
半导体薄膜(Zn(Mg)O,AlN,SrTiO3)
高K介质薄膜(HfO2,CeO2,Al2O3,BaTiO3,SrTiO3,PbZrTiO3,LaAlO3,Ta2O5)
超导薄膜(YBa2CuO7-x,BiSrCaCuO)
光波导,光学薄膜(PZT,AlN,BaTiO3,Al2O3,ZrO2,TiO2)
超疏水薄膜(PTFE)
红外探测薄膜(V2O5,PZT)
脉冲激光沉积发展前景
由脉冲激光沉积技术的原理、特点可知,它是一种***发展潜力的薄膜制备技术。随着辅助设备和工艺的进一步优化,将在半导体薄膜、超晶格、超导、生物涂层等功能薄膜的制备方面发挥重要的作用;并能加快薄膜生长机理的研究和提高薄膜的应用水平,加速材料科学和凝聚态物理学的研究进程。同时也为新型薄膜的制备提供了一种行之有效的方法。
沈阳鹏程真空技术有限责任公司本着多年脉冲激光沉积行业经验,专注脉冲激光沉积研发定制与生产,***的脉冲激光沉积生产设备和技术,建立了严格的产品生产体系,激光镀膜设备批发,想要更多的了解,欢迎咨询图片上的***电话!!!
脉冲激光沉积
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,希望对同行业的朋友有所帮助。
在一阶段,激光束聚焦在靶的表面。达到足够的高能量通量与短脉冲宽度时,靶表面的一切元素会快速受热,到达蒸发温度。物质会从靶中分离出来,而蒸发出来的物质的成分与靶的化学计量相同。物质的瞬时熔化率大大取决于激光照射到靶上的流量。熔化机制涉及许多复杂的物理现象,例如碰撞、热,与电子的激发、层离,以及流体力学。
在第二阶段,根据气体动力学定律,发射出来的物质有移向基片的倾向,并出现向前散射峰化现象。空间厚度随函数cosnθ而变化,而ngt;gt;1。激光光斑的面积与等离子的温度,对沉积膜是否均匀有重要的影响。靶与基片的距离是另一个因素,支配熔化物质的角度范围。亦发现,将一块障板放近基片会缩小角度范围。
第三阶段是决定薄膜质量的关键。放出的高能核素碰击基片表面,可能对基片造成各种***。高能核素溅射表面的部分原子,而在入射流与受溅射原子之间,建立了一个碰撞区。膜在这个热能区(碰撞区)形成后立即生成,这个区域正好成为凝结粒子的较佳场所。只要凝结率比受溅射粒子的释放率高,热平衡状况便能够快速达到,由於熔化粒子流减弱,膜便能在基片表面生成。
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